Gamma de viatges
20 mm
Resolució
0,125 μm
Repetibilitat
＜1 μm
Rectitud
＜2 μm
Paral·lelisme
＜5 μm
Pitching
10″（50μrad）
Guixada
Velocitat màxima
5 mm/seg
Capacitat de càrrega
10 kg
Pes
1,5 kg
